废蚀刻液的沉铜条件研究（毕业论文）

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更新日期：	2007-12-26

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资料简介：

本文对蚀刻过程中的沉铜条件进行了研究。从沉淀原理和蚀刻原理出发，开展了不加NH3·H2O与加NH3·H2O两种情况下铜沉淀剂–Na2S的耗量与Cu去除率的关系研究。实验结果表明：未加NH3·H2O的废蚀刻液经沉铜再生成为蚀刻液后Cu的蚀刻率与用于沉铜的Na2S含量成正比。而在先加NH3·H2O调整PH值后的废蚀刻液进行沉铜再生为蚀刻液后Cu的蚀刻率与用于沉铜的Na2S含量成反比。经分析归纳可以得出：废蚀刻液的再生蚀刻性能与沉淀过程中添加的Na2S量和溶液中Cu离子浓度两个因素相关，在一定条件下它与Na2S用量成正比而与溶液中的Cu离子浓度成反比，综合蚀刻速度与容量两个指标后可知，最佳Na2S用量以20%为宜。（此为pdf格式）

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